電子工廠特種氣體系統設計規范

本規范的編寫將適用于集成電路/太陽能芯片生產廠、新型顯示器件廠（TFT/PDP 廠,如上海華虹-NEC、德芯電子（昆山）有限公司）高純化學品配送系統管道的設計、施工及驗收。主要技術內容包括：高純化學品（含研磨液）配送系統設計，室內管道系統設計，品質在線偵測系統設計，有機溶劑間的防爆設計，氣體、液體泄漏檢測設計，配套的通風、廢氣處理、純水、工藝系統廢液收集、電力、生命安全等支持系統設計，土建設計以及上述設備、管道的施工及驗收。