熱門下載
聯系粵佳
廣州市譜源氣體有限公司
PH3_電子工業用氣體 磷化氫國家標準GBT 14851-2009
2019-7-5 14:11:49
一、范圍
本標準規定了電子工業用磷化氫的技術要求、試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質磷與水或堿反應等方法獲得并精制提到的磷化氫產品。它主要用于半導體器件和集成電路生產的外延、離子注入和摻雜。
分子式：PH3
二、技術要求
電子工業用氣體磷化氫的質量應符合表1的要求
三、磷化氫純度
四、磷化氫標志、包裝、貯運及安全
1、磷化氫是劇毒、可燃氣體，加熱或燃燒時，分解生成磷氧化物有毒煙霧。與空氣、氧氣、氧化劑如氯、氮氧化物、金屬硝酸鹽、鹵素和其他許多物質激烈反應，有著火和爆炸危險，浸蝕許多金屬。
2、與磷化氫接觸時，禁止明火，禁止火花和禁止吸煙。禁止與高溫表面接觸。若發生火災，切斷氣源，如不可能并對周圍環境無危險，讓火自行燃燒完全。其他情況用干粉、二氧化碳滅火。
3、磷化氫可能通過吸入吸收到體內。容器漏損時，該氣體迅速達到空氣中有害濃度。
4、磷化氫嚴重刺激呼吸道。吸入氣體可能引起肺水腫。液體迅速蒸發，可能引起凍傷。該物質可能對中樞神經系統、心血系統、心臟、胃腸道、肝和腎有影響，導致功能損害。過多超過職業接觸限值接觸時，可能導致神志不清或死亡。影響可能推遲顯現。需要進行醫學觀察。
5、包裝容器上應標明“電子磷化氫”字樣。
6、磷化氫出廠時應附有質量合格證，其內容至少應包括：
產品名稱，生產廠名稱，危險化學品生產許可證編號
生產日期或批號，充裝質量（Kg）
本標準號及技術指標，檢驗員號
