華特氣體成功提升六氟乙烷氣體純度

  高純六氟乙烷可被用作蝕刻劑，以直徑僅為頭發絲幾千分之一的線寬在晶圓表面“勾勒”出手機、計算機等“大腦”芯片的“腦回路”。憑借這一創新產品，華特氣體被許以2015年度中國半導體創新產品和技術的榮譽稱號。

  高純六氟乙烷，是華特氣體的得意之作。這種氣體常被用作蝕刻劑，通過輝光放電，以直徑相當于頭發絲幾千分之一的線寬（納米級別）在晶圓表面

  正是因為它的存在，指甲蓋大小的一塊半導體芯片上，溝壑縱橫。業內人笑稱：能“裝”下一座城市?，F在，幾乎所有8英寸及以上的半導體集成電路的生產都要用到高純六氟乙烷。

  這種納米級別的蝕刻，對氣體的純度要求自然也高，華特氣體潛心研發了兩年，將六氟乙烷的純度從99.9%提升至99.999%，這一產品被評為第十屆（2015年度）中國半導體創新產品和技術。

  特種氣體因對純度要求高、特定雜質的限定非?？量?，被視作工業氣體的“特種兵”，類似高純六氟乙烷這樣用于半導體工業的電子氣體是特種氣體的一類，被稱為半導體材料的“糧食”和“血液”。事實上，特種氣體的應用范圍十分廣泛。

  在使六氟乙烷的純度達到99.999%后，如今的華特氣體又進了一步——將六氟乙烷的純度再度拔高至99.9995%。雜質含量低至0.0005%，相當于1噸水中，僅有不到5克的雜質。

  純度對特種氣體的應用有多重要？傅鑄紅舉了一例。華特氣體自主研發的用于治療近視眼的準分子激光氣體，其原理在于利用氣體產生的激光能量削薄眼角膜。必須精準控制氣體發生作用產生波長為193納米的準分子激光，才能保證僅切割角膜而周圍的生物組織不會損傷?！皻怏w中任何一種雜質超標都可能影響波長，手術就沒法做了?！备佃T紅說。

 能達到這種精度，是華特氣體使用低溫精餾、吸附、分子篩等技術，反復試驗、查找漏洞、改進方案的結果?！半y點很多，比如低溫精餾純化過程，

 現在，華特氣體能根據不同客戶的要求，對影響客戶使用的雜質組分進行有針對性的定向去除，在純度上實行個性化生產。這更意味著在提純工藝上對各類參數極其精準的把控。

  但提純僅是生產特種氣體的第一道坎，提純后還必須保證氣體純度長期穩定，貯藏、運輸過程中不被污染。只有氣體即將用在客戶的生產線上，其純度還與氣體入瓶時保持一致，才不至于功虧一簣。

  為此，華特氣體對盛裝電子氣體的鋼瓶內壁進行拋光、粗磨、精磨，使內壁光潔度表面凸起不超過0.1微米；然后用特制的溶液清洗內壁，加熱、抽真空。事實上，華特氣體對充裝高純、超純氣體的容器內壁都會進行表面光潔處理、表面潔凈處理、表面附著物處理、內部干燥處理等，有些還會進行鍍鎳、鈍化等處理，以避免二次污染。

 不僅如此，華特氣體還在最終成品環節，對普通工業氣體20%抽檢、對電子特氣每瓶必檢，建立起完善的質量管理系統。

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