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七一八所NF3氣體項目獲國家150萬元支持
2008-8-3 23:25:00
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新成立的國家工業和信息化部,發布了2008年度國家電子信息產業發展基金項目中,邯鄲市經濟開發區七一八所派瑞科技園的NF3特種氣體項目獲得該基金支持150萬元。
此項基金是每年由中央財政預算安排,采取無償資助方式,主要用于支持軟件、集成電路產業,以及計算機、通信、網絡、數字視聽、新型元器件等電子信息產業核心領域技術與產品研究開發和產業化的專項資金,旨在加快我國電子信息產業的發展,加強產品的自主研發及產業化水平。該項資金將有效補充NF3特氣項目的研發生產經費,對進一步提升七一八所派瑞科技園自主創新能力、市場競爭力以及產業化水平。
據了解,NF3(三氟化氮)是一種無色無味的氣體,它可以在集成電路板上“蝕刻”出只有幾十納米的線槽,使電子產品的核心部件越做越小,如手機、電腦、MP3等各種數碼產品變得小巧玲瓏。同時,它還可以作為清洗氣。在生產液晶顯示器的時候,由于周圍環境會有一些雜質,這些雜質用常規辦法很難清理干凈,這時候三氟化氮可以大顯身手,為液晶顯示器的生產創造近乎零污染的環境。
目前,七一八研究所生產的三氟化氮氣體純度已經達到99.999%,這不僅在國內獨一無二,在國際上也具有領先地位。項目曾被科技部、商務部等4部委授予“國家重點新產品”稱號?,F已形成產業規模,產品遠銷美國、日本等國家和地區。目前,國內只有七一八所擁有高純三氟化氮生產線,世界上能夠生產該產品的共有4家。
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